等离子体光谱发射监控下制备的CrN薄膜及其性能

• 作者: 冶艳 尚魁平 葛培林 鲍明东
• 来源期刊: 热加工工艺
• 学科: 工学
• 关键词: CrN薄膜 OEM 硬度
• 年，卷（期）: 2011,（22）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 123-125,129
• 分类号: TB333
• 字数: 2011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3814.2011.22.038

摘要

采用非平衡磁控溅射法制备CrN薄膜,研究了OEM值对CrN薄膜的硬度、成分、相结构及微观组织结构的影响.结果表明:在OEM调控下,CrN薄膜主要生成单一的CrN相；CrN薄膜硬度较高;结合强度较好;CrN薄膜呈柱状生长,生长纹理清晰,表面孔隙较少,致密度增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛培林	宁波工程学院材料工艺研究所	4	7	2.0	2.0
2	鲍明东	宁波工程学院材料工艺研究所	29	102	6.0	8.0
3	尚魁平	中国矿业大学材料科学与工程学院	4	12	3.0	3.0
5	冶艳	中国矿业大学材料科学与工程学院	4	12	3.0	3.0