ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备

• 作者: 刘正堂 张淼 徐启远 李阳平 武倩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 耦合波理论 表面亚波长增透结构 反应离子刻蚀 硫化锌
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 219-222
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

ZnS是长波红外窗口优选材料之一,而其表面反射率较高;为了减小表面反射,利用耦合波理论,对ZnS衬底表面的亚波长结构参数进行优化设计,得到了具有良好增透效果的最佳亚波长结构参数;并利用掩膜光刻、反应离子刻蚀技术在ZnS衬底表面制备出在8-12μm波段范围内有明显增透效果的二维亚波长结构,这为ZnS衬底的增透提供了一种新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李阳平	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	25	201	8.0	13.0
2	刘正堂	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	120	749	14.0	21.0
3	张淼	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	8	21	2.0	4.0
4	徐启远	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	4	22	2.0	4.0
5	武倩	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	1	13	1.0	1.0