偏斜椭圆激光驻波场作用下中性原子沉积纳米光栅结构特性分析

• 作者: 张文涛 朱保华 熊显名 黄静
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子光刻 偏斜椭圆激光驻波场 纳米光栅
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理学
• 页码范围: 215-219
• 分类号: O431.2
• 字数: 2665字
• 语种: 中文

摘要

分析了椭圆激光驻波场的偏斜对中性原子运动过程和沉积过程的影响,对不同偏斜角度椭圆激光驻波场作用下中性铬原子沉积纳米光栅结构的特性进行了仿真研究,由仿真结果可以看出,随着偏斜椭圆形激光束偏斜角的增加,对应于不同y平面,激光驻波场汇聚中性原子所形成纳米光栅条纹的对比度不断减小、半高宽不断增大.当椭圆长短轴之比为2：1条件下,椭圆激光驻波场的偏斜角为0°时,纳米光栅的条纹半高宽为3.2nm,条纹对比度为36：1,而当偏斜角为15°时,激光驻波场中心位置处的沉积条纹的半高宽为6.5nm,条纹对比度为24：1,而当椭圆激光驻波场偏斜角度达到30°时,沉积条纹的单峰结构将会产生分裂,形成了双峰结构,且随着偏斜角的增加,沉积条纹的分裂越严重,纳米光栅的沉积质量越差.对于其他长短轴比例条件下的激光场亦可根据比例关系获得相应的纳米光栅沉积特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊显名	桂林电子科技大学电子工程与自动化学院	99	367	10.0	14.0
2	张文涛	桂林电子科技大学电子工程与自动化学院	105	506	10.0	18.0
3	朱保华	桂林电子科技大学电子工程与自动化学院	25	199	7.0	13.0
4	黄静	贵州民族学院物理电子学院	18	39	4.0	4.0