ECR等离子体的磁电加热研究

• 作者: 吴俊 汪建华 沈武林 谭必松 马志斌
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: ECR等离子体 磁电加热 离子温度
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 478-482
• 分类号: U455.4
• 语种: 中文

摘要

在ECR等离子体装置上进行了磁电加热研究,利用离子灵敏探针（ISP）测量了磁电加热前后离子温度的变化,研究了电极环偏压、磁场强度、气压等参数对磁电加热过程以及加热效率的影响.结果表明：等离子体的整体加热是通过离子在电极环鞘层中的磁电加热及被加热的离子沿径向的输运来完成的.轴心处离子温度随电极环偏压的升高呈非线性增加.磁电加热效率随偏压的增大而增大,在电极环偏压为1000V时,磁电加热效率为2%—2.5%,ECR等离子体中的离子温度能够提高20eV以上.磁场强度在磁电加热过程中对离子的限制和加热起到重要作用,当磁场强度在6.3×10-2—8.7×10-2T之间变化时,磁电加热的效率随磁场强度的增大而增大.气压在0.02—0.8Pa范围内,磁电加热的效率随气压的减小而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
3	谭必松	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	29	3.0	5.0
4	沈武林	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	15	2.0	3.0
5	吴俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	18	2.0	4.0