直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性

• 作者: 牟宗信 牟晓东 王春 董闯 贾莉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 放电 脉冲技术
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 422-428
• 分类号: O461.1
• 语种: 中文

摘要

采用直流电源放电形成高功率脉冲非平衡磁控溅射(dc-high power impulse unbalanced magnetron sputtering,dc-HPPUMS或dc-HiPiUMS),利用雪崩放电的击穿机理形成深度自触发放电,同轴线圈和空心阴极控制放电特性和提高功率密度.磁阱俘获雪崩放电形成的二次电子和形成漂移电流,形成了大电流脉冲放电,放电脉冲电流密度峰值超过100 A/cm2,脉冲频率小于40 Hz.由于放电等离子体远没有达到平衡状态,放电电流主要受到空间电荷效应的限制,采用放电理论分析了形成高电离率和强脉冲电流的机理,采用蔡尔德定律计算的放电参数符合实验的结果.