氩气微腔放电中特性参数的数值模拟研究

• 作者: 夏广庆 朱国强 朱雨 薛伟华 陈茂林
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微腔放电 等离子体模拟 流体模型
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 397-402
• 分类号: O461
• 语种: 中文

摘要

本文采用二维自洽完全流体模型,针对阳极为通孔的高气压微腔放电结构,研究了微腔放电的参数特性.数值计算得到了氩气压强为100 Torr,放电稳态时的电势分布、电子数密度分布和电子温度分布等重要参数.模拟结果表明放电区存在显著的阴极鞘层结构,电子数密度的峰值达到1020m-3,电子温度的量级为几个eV至十几eV,该结论与实验结果相一致.数值模拟合理的解释了微腔放电的基本原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈茂林	西北工业大学航天学院	18	89	7.0	8.0
2	夏广庆	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室航空航天学院	39	165	7.0	10.0
3	薛伟华	大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室航空航天学院	4	32	2.0	4.0