亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究

• 作者: 康果果 李群庆 谭峤峰 金伟其 金国藩 陈伟力
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 亚波长衍射光栅 偏振成像 等效介质理论
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 337-343
• 分类号: O436
• 语种: 中文

摘要

针对红外偏振成像系统,运用等效介质理论,在氟化钙基底上设计了周期为200 nm,深度为100 nm的金属铝栅.模拟计算结果表明,设计的金属铝栅在中红外(3-5 μm)和远红外(8-12μm)双波段范围内,以及±20°的视场范围内能够提供大于35dB的消光比.利用电子束曝光、反应离子束刻蚀、等离子去胶等工艺完成了金属铝栅的制作.将金属铝栅放在中波红外热像仪前,得到了目标轮廓清晰的偏振图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金伟其	北京理工大学光电学院	310	4324	34.0	50.0
2	金国藩	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	134	1085	20.0	25.0
3	陈伟力	北京理工大学光电学院	7	164	5.0	7.0
4	康果果	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	3	27	2.0	3.0
5	谭峤峰	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	20	1.0	1.0