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Origin of high oxide to nitride polishing selectivity of ceria-based slurry in the presence of picolinic acid
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摘要：
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| 篇名 | Origin of high oxide to nitride polishing selectivity of ceria-based slurry in the presence of picolinic acid | ||
| 来源期刊 | 中国物理B（英文版） | 学科 | |
| 关键词 | chemical mechanical polishing ceria oxide over nitride selectivity origin | ||
| 年，卷（期） | 2011,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 497-504 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.1088/1674-1056/20/3/038102 | ||
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期刊影响力
中国物理B(英文版)
主办单位：
中国物理学会和中国科学院物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-1056
CN：
11-5639/O4
开本：
出版地：
北京市中关村中国科学院物理研究所内
邮发代号：
创刊时间：
语种：
eng
出版文献量（篇）
17050
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