一种TFT源漏极沟道尺寸的自动测量方法

• 作者: 李桂锋 陈文彬
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: TFT 边缘检测 形态学处理 多边形拟合 角点检测
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 图形图像处理
• 页码范围: 81-83
• 分类号: TN919-34|TP751
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2011.04.025

摘要

为了实现对图像中TFT源漏极的快速定位和沟道尺寸的自动测量,采用基于图像特征点的图像识别方法.在识别过程中先采用图像处理的方法对图像进行优化,再采用多边形拟合的方法确定目标的边缘,并通过改进的角点检测方去对物体形状进行更精确的定位,从而实现了对TFT源漏极沟道尺寸的精确测量.经过实验验证,精度可达到0.02像素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文彬	电子科技大学光电信息学院	45	202	8.0	11.0
2	李桂锋	电子科技大学光电信息学院	1	1	1.0	1.0