基于FPGA和ARM的位移测量仪设计

• 作者: 殷庆纵
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 FPGA ARM LPC2132 光栅传感器 正交解码
• 年，卷（期）: 2011,（24）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 95-98
• 分类号: TP216
• 字数: 2479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2011.24.035

摘要

光栅尺作为位移传感元件被广泛应用在光学精密测量机器和高精度的数控机床上.介绍一种采用FPGA的光栅尺位移测量仪的设计方法,通过FPGA对2个光栅传感器输出的信号分别进行细分辨向和计数,再使用ARM LPC2132对计数信号进行处理,能可靠对x-y工作台在x和y方向上的位移分别进行测量.该仪器的分辨率为0.5 μm,精度可优于±1μm.此外,所研制的位移测量仪工作可靠,结构简单,易于调试和扩展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷庆纵	苏州工业职业技术学院电子工程系	22	44	3.0	5.0