Na、Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及性能研究

• 作者: 艾国齐 谭红琳 马正洪
• 来源期刊: 热加工工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂浓度 溶胶-凝胶法 ZnO薄膜 薄膜结构 光学性能
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 138-140
• 分类号: TG174
• 字数: 2606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3814.2011.08.042

摘要

在玻璃衬底上,采用溶胶-凝胶法制备Na、Mg共掺杂的ZnO薄膜,Mg含量不变,改变Na的掺杂含量,研究掺杂浓度、退火温度及镀膜层数对薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:薄膜形貌在550℃退火时较好;Na离子含量会影响薄膜(002)晶面的生长;镀膜层数增加,薄膜有明显红移现象并且透光率会降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭红琳	昆明理工大学材料科学与工程学院	25	63	5.0	6.0
2	艾国齐	昆明理工大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0
3	马正洪	昆明理工大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0