基于单片机改造迈氏干涉仪自动测量微小长度

• 作者: 刘月林 彭真真 程匹克 赵硕浛 陈程
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 单片机 步进电机 迈克尔逊干涉仪 微小长度测量 薄膜厚度测量
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 测控技术
• 页码范围: 150-153
• 分类号: TN911-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2011.11.047

摘要

为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变化的干涉条纹,用光电二极管检测条纹信号光强变化,通过光电转换电路将光信号转变为电信号,输入到单片机进行处理,测量结果自动显示在液晶屏上.在一般实验环境下进行了多次实验,将实验结果与标准值进行比较得出,改造后的仪器测量微小长度速度快,误差小,精确度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭真真	湖北师范学院物理与电子科学学院	3	16	2.0	3.0
2	陈程	湖北师范学院物理与电子科学学院	3	3	1.0	1.0
3	程匹克	湖北师范学院物理与电子科学学院	3	3	1.0	1.0
4	赵硕浛	湖北师范学院物理与电子科学学院	2	2	1.0	1.0
5	刘月林	湖北师范学院物理与电子科学学院	2	2	1.0	1.0