Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究

• 作者: 娄艳芝 罗庆洪 陆永浩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ti-B-C-N薄膜 磁控溅射 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 页码范围: 531-537
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

利用反应磁控溅射方法在单晶硅和高速钢（W18Cr4V）基片上制备出不同C含量Ti-B-C-N纳米复合薄膜.使用X射线衍射和高分辨透射电子显微镜研究了Ti-B-C-N纳米复合薄膜的组织和微观结构,用纳米压痕仪测试了它们的硬度和弹性模量.结果表明,利用往真空室通入C2H2气体的方法制备得到的Ti-B-C-N纳米复合薄膜中,在所研究成分范围内只发现TiN基的纳米晶.当C2H2流量较小时,C元素的加入可以促进Ti-B-C-N薄膜的结晶,使晶粒有所增大,力学性能得到提高;当晶粒尺寸约为6nm时（C2H2流量为2cm3/min）,Ti-B-C-N薄膜的硬度、弹性模量和断裂韧性均达到最大值,分别为35.7GPa,363.1GPa和2.46MPa·m1/2;进一步增加C含量,薄膜力学性能将急剧降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆永浩	北京科技大学材料物理与化学系	45	134	6.0	9.0
2	娄艳芝		17	51	4.0	6.0