有限尺寸方靶等离子体离子注入动力学的三维粒子模拟研究

• 作者: 巩春志 杨士勤 汪志健 王蓬 田修波
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 数值模拟 三维粒子模拟 有限尺寸方靶
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 页码范围: 456-461
• 分类号: O322
• 语种: 中文

摘要

采用三维粒子模拟模型研究了有限尺寸方靶等离子体浸没离子注入过程中的鞘层动力学行为,得到了鞘层尺寸和方靶表面的注入剂量、注入能量以及注入角度等信息,并与二维无限长方靶注入结果进行了对比.模拟结果表明,与无限长方靶不同,有限尺寸方靶周围鞘层很快扩展为球形,但鞘层厚度明显减小.在模拟的50ω-1pi时间尺度内靶表面注入剂量很不均匀,中心区域注入剂量最小,四个边角附近位置注入剂量最大.这种剂量不均匀性是由于鞘层扩展为球形,使得鞘层内离子被聚焦并注入到边角附近所致.方靶中心区域离子接近垂直注入,并且注入能量超过最大注入能量的90%;而在边角位置离子以45°左右的入射角度注入到靶表面,注入能量仅仅约为最大注入能量的50%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	杨士勤	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	93	787	14.0	22.0
4	汪志健	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	13	72	4.0	8.0
5	王蓬	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	6	32	4.0	5.0