倾斜式测量系统的傅里叶变换轮廓术研究

• 作者: 刘晓辉 徐建亮 戚晓利 汪敏 潘慧 许四祥
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 傅里叶变换轮廓术 倾斜式 测量系统 相位
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 325-330
• 分类号: O438.2
• 语种: 中文

摘要

在传统傅里叶变换轮廓术的研究基础上，本文提出了一种倾斜式测量系统的傅里叶变换轮廓术，该技术放宽了传统傅里叶变换轮廓术测量系统的三个约束条件：CCD成像系统的光轴不需要与参考平面垂直，即有一定的倾斜度；投射系统的出瞳和CCD成像系统的人瞳中心之间的连线不需要与参考平面平行；投射系统的光轴和CCD成像系统的光轴不在同一平面内，且不交于参考平面上一点．并且通过严格的理论分析，推导出高度与相位之间的关系式，与传统傅里叶变换轮廓术相比较，在保证一定的测量精度的前提下，倾斜式测量系统具有更强的实用性和可操作性．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许四祥	安徽工业大学机械工程学院	56	152	6.0	8.0
2	戚晓利	安徽工业大学机械工程学院	46	207	8.0	12.0
3	汪敏	安徽工业大学机械工程学院	28	107	6.0	8.0
4	潘慧	安徽工业大学机械工程学院	3	6	2.0	2.0
5	徐建亮	安徽工业大学机械工程学院	3	6	2.0	2.0
6	刘晓辉	安徽工业大学机械工程学院	4	13	3.0	3.0