太阳电池用Cu2ZnSnS4薄膜的反应溅射原位生长及表征

• 作者: 刘业翔 刘芳洋 张坤 张治安 李劼 李轶 赖延清 颜畅
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cu2ZnSnS4 直流反应磁控溅射 原位生长 太阳电池
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 790-796
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

通过直流反应磁控溅射技术,原位生长制备了太阳电池用Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜.采用X射线能量色散谱仪、扫描电镜、X射线衍射仪、紫外可见分光光度计和霍尔效应测试系统对薄膜进行了表征.结果表明,原位生长的CZTS薄膜具有均质、致密和平整的形貌,且由贯穿整个薄膜厚度的柱状颗粒组成.不同基底温度下生长所得薄膜的Cu/(Zn+Sn)值均约为1,而Zn/Sn值均大于1且随着基底温度升高而减小.所得薄膜在(112)方向上择优取向明显,且结构特征受基底温度和Cu/(Zn+Sn)的共同影响.所得薄膜均具有高达104cm-1的光吸收系数,其带隙宽度随着生长温度的增加而降低,并且在500 ℃时为(1.51±0.01)eV.薄膜的导电类型均为p型,且具有与器件级Cu(In,Ga)Se2(CIGS)相当的载流子浓度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘业翔	中南大学冶金科学与工程学院	179	2522	25.0	39.0
2	李劼	中南大学冶金科学与工程学院	259	2311	22.0	31.0
3	赖延清	中南大学冶金科学与工程学院	224	2239	23.0	32.0
4	张治安	中南大学冶金科学与工程学院	45	435	13.0	18.0
5	张坤	中南大学冶金科学与工程学院	31	415	14.0	19.0
6	李轶	中南大学冶金科学与工程学院	8	88	7.0	8.0
7	刘芳洋	中南大学冶金科学与工程学院	29	88	7.0	9.0
8	颜畅	中南大学冶金科学与工程学院	2	16	1.0	2.0