大面积表面波等离子体源微波功率吸收的数值模拟研究

• 作者: 刘明海 胡希伟 蓝朝晖
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 时域有限差分法 等离子体表面波 功率吸收 狭缝天线
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 439-444
• 分类号: O53
• 语种: 中文

摘要

建立了大面积矩形表面波等离子体(SWP)源全尺寸的三维模型,用数值模拟的方法研究了SWP源基于碰撞的功率吸收问题,给出了随等离子体参数变化的微波反射率曲线,分析了不同天线对微波功率沉积的影响,并讨论了微波功率吸收和表面波的定性关系.结果发现,均匀放电的SWP源功率沉积本质是由表面波等离子体的性质决定的,等离子体密度太大或太小都不利于功率吸收.在正常工作气压下,SWP源通过碰撞机理即可以实现微波功率的有效沉积,微波吸收率可达80%以上,与已有实验相符.本研究同时发现,天线阵列激发的表面波模式越紧凑,强度越大,越有利于微波的吸收.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡希伟	华中科技大学电气与电子工程学院	21	319	9.0	17.0
2	刘明海	华中科技大学电气与电子工程学院	27	375	9.0	19.0
3	蓝朝晖	中国工程物理研究院流体物理研究所	12	26	3.0	4.0