Al掺杂ZnO薄膜的厚度对其结构及磁学性能的影响

• 作者: 刘力虎 孙会元 张云开 张海峰 徐芹 顾建军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Al掺杂ZnO薄膜 薄膜厚度 应力 铁磁性
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 667-671
• 分类号: O482.5
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控共溅的方法在玻璃基底上制备了不同厚度的Al掺杂ZnO薄膜,并在真空和空气中分别退火.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对系列薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD结果显示:随着膜 厚的增加,晶粒尺寸逐渐增大,薄膜的内应力逐渐减小.在空气退火的薄膜样品中观察到了室温的铁磁性,薄膜的饱和磁化强度Ms随着膜厚的增加而增大,而矫顽力Hc却随着膜厚的增加而减小.