退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响

• 作者: 娄艳芝 杨会生 罗庆洪 赵振业
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AlTiN多层薄膜 退火 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 514-519
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了一组氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜,并分别在600,700和800℃下真空退火热处理.利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜和高分辨透射电镜等方法研究了沉积态和退火态AlTiN多层薄膜组织和微观结构;AlTiN多层薄膜的力学和膜基结合性能用纳米压痕硬度仪、摩擦磨损仪以及划痕试验仪得到.研究表明,采用沉积过程中周期改变氮气流量的方法,可以制备出稳定的、力学性能良好的AlTiN多层薄膜.800℃退火后,AlTiN多层薄膜的界面仍很清晰,退火使AlTiN多层薄膜结晶化程度提高,晶粒尺寸变大,但氮含量较高膜层仍比氮含量较低膜层的结晶化程度高.退火后AlTiN多层薄膜硬度降低,800℃比600℃退火薄膜硬度有所提高,但随着退火温度的提高,AlTiN多层薄膜耐磨损性能和抗剥落性能急剧降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨会生	北京科技大学材料物理与化学系	21	118	6.0	10.0
2	赵振业		41	655	15.0	25.0
3	娄艳芝		17	51	4.0	6.0
4	罗庆洪		9	32	4.0	5.0