单室沉积非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池的研究

• 作者: 孙建 张晓丹 杨素素 熊绍珍 王光红 耿新华 许盛之 赵颖 郑新霞 魏长春
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基薄膜太阳电池 三叠层 微晶硅
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 819-823
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文

摘要

在产业化比较成熟的单室沉积非晶硅薄膜太阳电池基础上,进行了非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池性能优化的研究.在生产线上纯单室沉积的非晶硅/非晶硅叠层太阳电池基础上,通过调节n-p隧穿结并采用自行研制开发的单室微晶硅底电池的沉积路线,获得了单室沉积的光电转换效率达到9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池.