微电子机械系统及其加工工艺简述

• 作者: 薛小红
• 来源期刊: 技术与市场
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 体微加工 表面微加工 LIGA
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 120
• 分类号: TH703
• 字数: 2122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2011.05.085

摘要

微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术.硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的微电子机械系统主流技术.介绍了微电子机械系统的特点,并讨论了微电子机械系统的三种加工方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛小红		10	10	2.0	3.0