探索新结构平面电机 加快IC产业发展步伐

• 来源期刊: 科技与生活
• 学科: 经济
• 关键词: 产业发展 电机 平面 结构 IC 制造技术 集成电路 生产效率
• 年，卷（期）: kjyshb_2011,（13）
• 页码范围: 47
• 页数: 1页
• 分类号: F062.9

摘要

本报讯集成电路（Integrated Circuit，ic）的集成度和特征尺寸直接体现了一个国家的制造技术水平。超精密工件台作为制造集成电路的关键设备，是Ic产业向高集成度、高效率和低成本方向不断发展的重要支柱。超精密工件台具有纳米级高精度同步定位的要求，直接决定了光刻机所能实现的特征尺寸和生产效率，其各项指标代表了超精密运动系统的国际前沿技术水平。