MPECVD中氧化硅阻隔层性能的研究

• 作者: 陈强 齐凤阳
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: SiO。阻隔层 薄膜颜色 阻隔性能 磁增强等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 包装技术与工程
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB484.3|TB487
• 语种: 中文

摘要

介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续（Roll—to—Roll）系统中，在PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究了不同工艺条件下，薄膜的阻隔性能、颜色变化及其影响因素。实验得到：在单体和氧气的混合反应气体中，提高氧气的比例有利于增加薄膜透明性，并且得到的氧化硅膜由黄褐色趋近于无色透明。通过红外光谱仪对薄膜的成分进行了分析，用分光光度计和紫外可见分光光度计测量了薄膜颜色和透明性变化，分析了其影响产生的机理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强		125	542	10.0	17.0
2	齐凤阳		2	5	1.0	2.0