基于压电双晶片驱动微位移放大机构设计

• 作者: 张斌 聂海旭
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 三角放大机理 压电双晶片 微位移放大机构
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 设备
• 页码范围: 49-52
• 分类号: TN722
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2012.04.014

摘要

本文主要介绍了以压电双晶片驱动微位移放大机构的设计,该放大机构以三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出.并通过理论计算、建模以及有限元软件对微位移放大机构进行设计,最后制作了微位移放大机构的样机,并进行了实验测试.对得到的测试数据进行分析,结果表明:微位移放大机构的行程为0 ～ 77.8 μm,放大倍数约为6.2倍.