单轴微机械热对流加速度计温度场分析

• 作者: 李顶根 汪荣青 胡俊强 郭伟
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: 热学 最佳距离 温度场分析 加速度 热对流 单轴 六面体腔
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 物理测试
• 页码范围: 42-45
• 分类号: TH824+.4|O551.2
• 字数: 2099字
• 语种: 中文

摘要

为优化微机械热对流加速度计的结构布置和加工流程,提高其测量精度和灵敏度,采用了成本低廉、技术成熟的“牺牲层”技术和Si-SiO2-SiO2-Si键合技术设计制作了六面体腔型式的微机械热对流加速度计模型,并通过对这种结构的模型进行温度场分析.当微机械热对流加速度计具有最高的灵敏度时,热敏元件与加热元件的最佳距离区间为[430 μm,440 μm].

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李顶根		72	430	12.0	18.0
2	汪荣青		23	53	5.0	6.0
3	郭伟		1	3	1.0	1.0
4	胡俊强		6	4	1.0	2.0