二次离子质谱的一次离子光学系统

• 作者: 丁传凡 徐福兴 王亮
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: 二次离子质谱仪 一次离子光学系统 离子束流密度 离子束斑
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 1-6
• 分类号: O657.63
• 字数: 2773字
• 语种: 中文

摘要

二次离子质谱仪作为一种强大的表面分析工具,在表面分析领域有着非常广泛的应用.本文报道了一种用于二次离子质谱仪的一次离子光学系统,它可以对电子轰击电离源产生的一次离子进行有效的加速与聚焦,形成稳定的、能量在0～5 kV范围内连续可调的离子束流.同时,该光学系统可以在两种聚焦模式下工作,产生两种不同性能的离子束流.实验结果表明,采用电子轰击电离源作为一次离子源的条件,该离子光学系统能够将离子束聚焦至直径为20 μm的束斑,其一次离子束流密度最高可达到503.2 mA/cm2,可以实现对一般样品(如材料或生物样品)的表面成分分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亮	复旦大学化学系	54	275	8.0	14.0
2	丁传凡	复旦大学化学系	43	160	7.0	10.0
3	徐福兴	复旦大学化学系	12	39	4.0	6.0