980nm半导体激光器腔面膜钝化新技术

• 作者: 刘国军 曲轶 李再金 李特 王立军 芦鹏 薄报学
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 腔面 钝化
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备与器件物理
• 页码范围: 525-528
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20123305.0525

摘要

研究了不同腔面钝化方法对980 nm渐变折射率波导结构InGaAs/AlGaAs半导体激光器输出激光功率的影响.将980 nm半导体激光器管芯前后腔面不蒸镀钝化膜与蒸镀Si钝化膜和蒸镀ZnSe钝化膜的方法进行了对比.结果表明,蒸镀ZnSe钝化膜比蒸镀Si钝化膜的半导体激光器输出光功率提高了11％,比不蒸镀钝化膜的半导体激光器输出激光功率提高了42％.不蒸镀钝化膜的半导体激光器的失效电流为4.1A,蒸镀Si钝化膜的半导体激光器的失效电流为5.1A,蒸镀ZnSe钝化膜的半导体激光器的失效电流为5.6A.对半导体激光器失效的原因进行了分析.在半导体激光器前后腔面蒸镀ZnSe钝化膜能有效地提高器件的输出光功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立军		3	21	3.0	3.0
2	曲轶	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	39	163	7.0	11.0
3	薄报学	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	44	252	9.0	14.0
4	刘国军	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	62	303	9.0	14.0
5	李特	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	12	27	3.0	5.0
6	李再金	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	13	35	4.0	5.0
7	芦鹏	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	15	67	3.0	8.0