冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较

• 作者: 刘继三 姚又省 陈维平
• 来源期刊: 化学工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 冷氢化 四氯化硅 汽化
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 化工工艺
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: TQ055.89
• 字数: 2921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9954.2012.12.018

摘要

对多晶硅生产中的冷氢化工艺做了简单介绍,重点介绍了冷氢化工艺中四氯化硅的4种汽化方式,包括电加热汽化、导热油汽化、直接混合汽化和强制混合汽化,并对这4种汽化方式的优缺点进行了比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘继三		5	19	2.0	4.0
2	姚又省		3	8	1.0	2.0
3	陈维平		1	6	1.0	1.0