半导体器件喷腐工艺与喷腐机改进

• 作者: 石虹
• 来源期刊: 电力机车与城轨车辆
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 表面喷腐(腐蚀) 喷腐机
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 制造技术
• 页码范围: 54-55
• 分类号: FN304.1+2|TQ050.9+1
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1187.2012.02.017

摘要

阐述半导体器件表面喷腐(腐蚀)目的及喷腐机工作原理,分析影响表面腐蚀的因素,特别强调温度对腐蚀速度的影响；同时介绍了不同环境温度,不同腐蚀时间对器件性能的影响,为改造喷腐机,提高喷腐质量提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石虹		1	0	0.0	0.0