碳纤维表面沉积碳化钨膜研究

• 作者: 周武平 李一 李发长 李楠 李金普 柳学全 贾成厂
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纤维 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 碳化钨 六羰基钨
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 214-218
• 分类号: TB383.2
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3784.2012.03.010

摘要

通过W(CO)6化学气相沉积(MOCVD)工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件.结果表明:在400℃沉积温度下沉积时间15min,一定浓度的W(CO)6可解离沉积在碳纤维表面形成致密碳化钨膜;膜层厚度0.4μm,物相为WC1-x相,与碳纤维基体结合强度高.DTA分析表明,复合碳纤维的抗热氧化性能得到了明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾成厂	北京科技大学材料科学与工程学院	227	1841	21.0	26.0
2	李发长	北京科技大学材料科学与工程学院	5	28	4.0	5.0
3	李一	北京科技大学材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0
7	李金普	北京科技大学材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0
8	柳学全		7	50	3.0	7.0
9	李楠		3	8	2.0	2.0
10	周武平		2	4	2.0	2.0