氧的掺入对化学气相沉积TiCN涂层的影响

• 作者: 刘一雄 张雨萌 朱丽慧 班志刚
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: TiCN TiCNO 涂层 显微结构 硬度 结合强度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 66-71
• 分类号: TG135.5
• 字数: 2769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2012.02.002

摘要

本文采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨扫描电镜(HRSEM)、显微维氏硬度计、声发射划痕仪,研究了以化学气相沉积(CVD)法制备的TiCN和TiCNO涂层.通过对比涂层的相结构、组织形貌、硬度及结合强度,分析氧的掺人对TiCN涂层显微结构和力学性能,特别是结合强度的影响.结果表明:CVD制备的TiC0.81N0.48涂层截面呈柱状结构,硬度和结合强度分别为2 063 HV及127 N.掺入氧后的TiC0.61Na0.44O0.15和TiC0.52N0.25O0.1涂层没有出现新的物相,为面心立方结构的TiCNO固溶体,具有(111)织构；氧的掺入细化了晶粒,使涂层转变为致密结构；其硬度分别提高至2 207 HV和2 753 HV,但与基体结合强度分别下降至88 N和63 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱丽慧	上海大学材料科学与工程学院	92	879	18.0	25.0
2	张雨萌	上海大学材料科学与工程学院	2	30	2.0	2.0