激光显微拉曼技术检测晶体管工作电流导致的器件自加热现象

• 作者: 徐剑芳 李成 赖虹凯
• 来源期刊: 光散射学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光显微拉曼 热效应 晶体管 硅 频率位移
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究中的应用
• 页码范围: 64-68
• 分类号: TN322
• 字数: 4047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-5929.2012.01.012

摘要

随着晶体管尺寸的日益缩小,不良热效应成为晶体管失效重要原因之一.现有的检测器件热分布的手段的空间分辨率较低,不能原位直观地获得这些尺寸越来越小的晶体管的工作过程中的热分布情况.本文针对以上问题,在变温系统上探索利用激光显微拉曼光谱技术原位检测晶体管的自热效应,结果表明可以通过器件衬底上硅的一阶声子振动的拉曼谱峰频率随温度的位移的程度探测器件的温度,并测得β-FeSi2/Si二极管工作温度.该技术是一种行之有效的探测器件温度变化的手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖虹凯	厦门大学物理与机电工程学院物理学系	17	32	3.0	5.0
2	李成	厦门大学物理与机电工程学院物理学系	45	140	7.0	11.0
3	徐剑芳	厦门大学物理与机电工程学院物理学系	4	8	1.0	2.0