超声时效技术在微注塑模具制作中的应用

• 作者: 于同敏 李成斌 李永辉 杜立群
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声时效技术 微注塑模具 UV-LIGA工艺 SU-8光刻胶 内应力
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1250-1256
• 分类号: TN305|TB559
• 字数: 4162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122006.1250

摘要

针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题,提出将超声时效技术应用于微注塑模具的制作工艺.首先,利用紫外光刻工艺制备了电铸胶膜,在显影前使用自制的超声时效装置对胶膜进行超声处理.然后,采用无背板生长方法在38CrNiMnMo模具钢基底上直接进行镍金属的电铸生长,讨论并解决了工艺过程中遇到的SU-8胶浮胶变形、非圆形基片的匀胶、胶膜中的气泡以及微电铸层结合不牢等问题.最后,制作出微通道宽度和高度分别为80 μm和35 μm的微注塑模具.实验结果表明,超声时效技术的使用避免了由于SU-8胶内应力过大引起的破裂、变形甚至从基底脱落等缺陷,增强了UV-LIGA技术制作微注塑模具的能力,提高了制作微注塑模具的成功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于同敏	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	107	915	16.0	23.0
2	杜立群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
6	李永辉	大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室	3	23	2.0	3.0
7	李成斌	大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室	2	23	2.0	2.0