热交换法生长c面取向大尺寸蓝宝石晶体的研究

• 作者: 张雪平
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石晶体 热交换法 c向生长 位错密度
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 584-587
• 分类号: O78
• 字数: 1789字
• 语种: 中文

摘要

本文使用热交换法直接生长c面取向,尺寸为φ170 mm× 160 mm,重12 kg的蓝宝石晶体.晶体无色透明,内部无散射颗粒.沿c面(0001)方向的晶棒锥光图可观察到同心圆簇的干涉条纹,仅中心较小区域因内应力存在,干涉条纹发生扭曲.将抛光的晶片进行化学腐蚀后,通过金相显微镜检测位错腐蚀坑形貌图,结果显示,腐蚀坑呈三角形,平均位错密度较低,为1.98 × 103 Pits/cm2,X射线衍射半峰宽较小,晶体结构完整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张雪平	湖南大学物理与微电子科学学院	1	4	1.0	1.0