随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响

• 作者: 孟光 张文明
• 来源期刊: 振动工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 径向气体轴承 滑移效应 分形几何 粗糙表面
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 60-63
• 分类号: TH117.2|TH133.3
• 字数: 1772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4523.2012.01.011

摘要

基于分形几何理论表征了MEMS径向气体轴承的随机粗糙表面,修正了气体的雷诺方程,研究了径向轴承中气体薄膜在滑移效应和粗糙度耦合作用下的压强分布、承载能力等轴承特性.结果表明:由于表面粗糙度的影响,气体轴承压力分布、承载能力具有非线性特性,波动较明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟光	上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室	206	2435	25.0	38.0
2	张文明	上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室	30	131	7.0	10.0