飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

• 作者: 侯圣文 刘一 曲士良 李岩 高仁喜 高胜英
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 光栅 飞秒激光 SiC晶体 高温环境
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 745-748
• 分类号: TN253
• 字数: 571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.009

摘要

为了研究SiC晶体光学方面的应用,利用飞秒激光冷加工的特点,对SiC晶体进行精微加工,研究了激光脉冲功率和扫描速率对光栅单元的影响,选取适合SiC晶体飞秒加工的工作条件,分别在晶体表面与内部加工出高质量的光栅.对加工好的光栅进行衍射通光实验,计算其各级衍射角,从而验证加工好的光栅周期;并在1300℃高温下进行退火实验,退火前后,光栅参量无明显变化.结果表明,该光栅适合在高温环境下使用.