新型零差激光干涉仪测量误差因素分析

• 作者: 何武光 吴健 康美苓 杨春平 王豹亭
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 振动测量 零差激光干涉仪 误差分析 条纹宽度 散斑
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 227-231
• 分类号: TB936
• 字数: 3140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.03.08

摘要

介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响.结果表明,干涉条纹宽度对振幅测量值影响并不明显,测量误差为0.5％；光强变化引起的振幅测量误差为0.5％,光强较弱会增大测量误差:散斑效应引起的振幅测量误差与透镜参数有关,测量误差为0.4％.该新型零差激光干涉仪可有效降低测振系统对测量环境的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春平	电子科技大学光电信息学院	50	386	10.0	17.0
2	吴健	电子科技大学光电信息学院	79	785	16.0	23.0
3	何武光	电子科技大学光电信息学院	11	55	3.0	7.0
4	王豹亭	电子科技大学光电信息学院	3	4	1.0	2.0
5	康美苓	电子科技大学光电信息学院	4	28	2.0	4.0