基于LIGA技术制作金属微针阵列

• 作者: 李以贵 白万青 陈翔
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS微针 移动LIGA工艺 X射线曝光 电镀 PDMS转模
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 118-123
• 分类号: TH703|TN305.7
• 字数: 2660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.009

摘要

MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端.传统LIGA工艺只能制造出具有高深宽比的垂直侧壁结构.对传统LIGA工艺进行调整,对光刻胶PMMA进行两次曝光,并通过移动光刻胶台改变X射线的光刻方向,使两次X射线曝光方向相垂直,提出移动LIGA工艺,即移动光刻工艺.此外,利用等腰三角形作为掩膜板图案,显影之后得到截面与X射线掩膜板图案相似的三维实心PMMA微针阵列.再利用此PMMA微针阵列作为原始模具,PDMS转模形成PDMS一级模具,电镀镍得到与PMMA微针阵列相似的金属镍微针阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈翔	上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国防科技重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	35	224	9.0	12.0
2	李以贵	上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国防科技重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	19	120	7.0	10.0
3	白万青	上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国防科技重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0