双面PSD器件的工艺研究

• 作者: 刘善喜 汪继芳 简崇玺
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双面PSD 双面光刻 氧化 扩散
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 微组装
• 页码范围: 93-95,109
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2012.02.009

摘要

双面PSD器件具有很高的灵敏度、良好的瞬态响应特性、紧密的结构以及简单的处理电路等优点。介绍了PSD器件的制作技术。重点介绍了利用微细加工技术进行双面两侧分流电极型PSD的制作,解决了双面对准光刻技术的工艺难题,为双面高精度PSD器件的制作提供了一条工艺技术途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘善喜		5	12	2.0	3.0
2	汪继芳		3	12	2.0	3.0
3	简崇玺		1	1	1.0	1.0