三氯氢硅合成尾气回收方法探讨

• 作者: 郑开学
• 来源期刊: 化工设计
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 三氯氢硅 尾气回收
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 环境保护
• 页码范围: 32-35
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-6247.2012.02.009

摘要

探讨三氯氢硅合成尾气回收方法,降低三氯氢硅生产成本,利于环境保护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑开学		4	51	2.0	4.0