MEMS用含能薄膜研究现状及进展

• 作者: 张文超 彭泓铮 王述剑 马立远
• 来源期刊: 含能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 材料科学 含能材料 微机电系统( micro-electro-mechanical systems,MEMS) 火工品
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 234-239
• 分类号: TJ55
• 字数: 4240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9941.2012.02.021

摘要

在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上,认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电系统( micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件制备技术具有良好的兼容性,在此基础上阐述了上述三种薄膜材料的制备方法及输出特性,认为MEMS火工装置为火工技术的发展提供了一个重要的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文超	南京理工大学化工学院	25	152	8.0	11.0
2	王述剑		2	12	1.0	2.0
3	彭泓铮	南京理工大学化工学院	1	11	1.0	1.0
4	马立远	南京理工大学化工学院	1	11	1.0	1.0