基于微位移定位系统MEMS梳齿位移传感器的研究

• 作者: 谷阳钦 雷焱焱
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 梳齿传感器 定位平台系统 微位移
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1824字
• 语种: 中文

摘要

MEMS硫齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器,具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点.首先探讨了梳齿传感器的工作原理,随后介绍了使用梳齿传感器有效检测微动工作台位移的方法,并进行了结构失效和梳齿电极不平行失效的可靠性分析.通过采用这种传感器可以达到提高微位移定位平台系统的集成度、精度、分辨率和减小定位平台系统体积的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷焱焱	苏州大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0
2	谷阳钦	苏州大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0