激光干涉仪面形检测结果与N、△N对应关系的探讨

• 作者: 谢启明 陈岩
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 面形检测 干涉仪 N △N
• 年，卷（期）: ygjs,（2）
• 页码范围: 14-22
• 页数: 9页
• 分类号: TH744.3

摘要

随着以Zygo激光干涉仪为代表的面形检测仪器在我国的普及和应用，对光学加工和检验人员来说，如何将激光干涉仪测试结果中的参数，如PV、SAG、IRR等与我国光学零件制图标准中的指标N、△N之间建立一定的对应关系，就显得尤为重要和迫切。本文介绍了上述测量方法的原理，对相关指标进行了说明，在实际检测的基础上，应用统计的方法，对所得结果进行计算、分析和对比，试图找出PV、SAG、IRR等参数与N、△N之间的联系，供光学加工和检验人员参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢启明		9	7	2.0	2.0
2	陈岩		2	0	0.0	0.0