光学镀膜宽带膜厚监控系统研究

• 作者: 闫凯
• 来源期刊: 科学之友
• 关键词: 色散系数 膜厚 目标透射率 宽带膜厚监控
• 年，卷（期）: 2012,（18）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 1-2
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

针对传统的宽带膜厚监控法存在精度低和灵活性不高的缺陷,文章提出了一种新的方法,在蒸镀过程中不断拟合更新镀层的色散系数(折射率)、膜厚等参数,而后根据所得数据不断修正设想的目标透射率(反射率),以克服传统的宽带膜厚监控法的缺陷,这就是基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫凯		6	6	2.0	2.0