微机械加速度计发展现状浅析

• 作者: 万蔡辛 付丽萍 李丹东 薛旭
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 加速度计 发展现状
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与动态
• 页码范围: 73-77
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 4058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2012.02.017

摘要

自微机电系统(MEMS)技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩.在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究.时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展.以麻省理工大学(MIT)Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计(PIGA)；以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场；以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场.国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景.本文试对发展现状进行了简单评析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹东		17	114	5.0	10.0
2	万蔡辛		5	17	2.0	4.0
3	薛旭		6	30	4.0	5.0
4	付丽萍		3	24	2.0	3.0