射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜的表征和亲水性能

• 作者: 任莉 孟凡明 王雷妮 鲁飞
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 TiO2薄膜 光学性能 亲水性能
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 329-333
• 分类号: O484.1
• 字数: 2678字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射TiO2陶瓷靶的方法在硅和石英衬底上制备纳米TiO2薄膜,并经950℃退火1h.通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)和接触角仪对薄膜相结构、表面形貌、光学性能和亲水性能进行表征.结果表明,与950℃退火1h相比,未退火薄膜是无定形结构并呈现较高的光致亲水性能.退火薄膜是锐钛矿和金红石混合相,其中锐钛矿相质量分数是11.34％.未退火和950℃退火1h的薄膜样品的能隙分别是3.03 eV和3.11 eV.未退火薄膜具有较高的光致亲水性能主要归因于其较低的光学能隙.退火薄膜的热致亲水性能与其相结构、表面清洁度和粗糙度有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟凡明	安徽大学物理与材料科学学院	46	205	9.0	12.0
10	鲁飞	安徽大学物理与材料科学学院	8	78	3.0	8.0
14	任莉	海军蚌埠士官学校机械系	5	4	2.0	2.0
15	王雷妮	安徽大学物理与材料科学学院	5	15	2.0	3.0