Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究

• 作者: 卢亚鹏 吴培亨 康琳 房玉荣 曹春海 李梦月 肖伟 许伟伟 许钦印 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: 超导隧道结 等离子氧化 阳极氧化 制备工艺
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 35-38
• 分类号: TM26
• 字数: 1883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2012.07.008

摘要

提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流.对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰；应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结.