MSM结构ZnO紫外探测器的制备及光电性能研究

• 作者: 刘大博
• 来源期刊: 航空材料学报
• 关键词: ZnO薄膜 紫外探测器 MSM结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 63-67
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5053.2012.3.011

摘要

采用磁控溅射方法,在石英衬底E制备了光电性能优良的ZnO紫外探测器.通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜(SEM)观察及X射线衍射(XRD)分析,研究了ZnO紫外探测器的光电特性.结果表明:探测器的光电流高出暗电流近3个数量级,紫外波段的光响应高出可见光波段近2个数量级,所制备ZnO紫外探测器达到了高辐射灵敏度和可见盲特性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘大博		38	375	7.0	18.0