MEMS陀螺中带孔结构空气阻尼建模分析

• 作者: 刘俊 崔敏 李孟委 李锡广 王莉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺 空气阻尼 Q值匹配 工作带宽
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 749-754,766
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.11.008

摘要

针对MEMS陀螺中带孔结构的空气阻尼问题,根据制作的微陀螺,利用MATLAB软件对模态匹配、Q值匹配与灵敏度之间的关系进行了仿真分析.仿真结果表明在驱动和检测模态匹配时灵敏度幅值最大,但工作带宽却随Qx与Qz乘积的增大而减小.建立了空气阻尼计算模型,并利用实验测试数据对空气阻尼计算模型进行了分析和检验.研究发现,微陀螺在驱动方向上,带孔平板结构的滑膜空气阻尼计算模型存在一定误差,经过系数修正后Q值的理论值与测试值具有较好的一致性,但仍需要进一步地修正和完善；在检测方向上,压膜空气阻尼模型比较准确,精度较高能控制在5％以内,可直接用于微陀螺的空气阻尼设计中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术重点实验室	181	1162	17.0	24.0
5	王莉	中北大学电子测试技术重点实验室	10	32	4.0	5.0
9	崔敏	中北大学电子测试技术重点实验室	19	102	7.0	9.0
10	李孟委	中北大学电子测试技术重点实验室	30	75	5.0	7.0
14	李锡广	中北大学电子测试技术重点实验室	4	19	3.0	4.0