单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

• 作者: 刘志东 田宗军 邱明波 鲁清 黄因慧
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 电火花铣削 电极损耗 覆盖效应
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 208-211
• 分类号: TG662
• 字数: 1815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2012.02.018

摘要

对单晶硅电火花铣削过程中电极表面出现的覆盖层进行了分析，分析结果表明，该覆盖层的主要成分是SiO2。实验证明，SiO2是加工过程中电化学反应的产物。研究了电参数对SiO2覆盖层厚度的影响规律。研究结果表明，可以通过控制SiO2覆盖层的厚度来保护电极和补偿电板损耗，实现低损耗甚至无损耗的单晶硅电火花铣削加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军		220	2027	21.0	32.0
2	黄因慧		219	2593	26.0	36.0
3	刘志东		229	1912	22.0	29.0
4	邱明波		78	554	13.0	20.0
5	鲁清		3	12	2.0	3.0